白光干涉仪是一种新型的表面形貌测量方法，能够实现对样品表面形貌的三维测量。它通过扫描定位被测样品表面各点的较佳干涉位置得到表面各点相对高度，重构表面三维轮廓，实现对样品表面三维形貌的测量。
白光干涉仪的原理：
用于对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器，它是以白光干涉技术为原理，光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光最终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。
专用于非接触式快速测量，精密零部件之重点部位的表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸，其测量精度可以达到纳米级！目前，在3D测量领域，是精度最高的测量仪器之一。
白光干涉仪由以下及部分构成：
光学照明系统，采用卤素光源。光学成像系统采用无限远光学成像系统，由显微物镜和成像目镜组成。垂直扫描控制系统由压电陶瓷以及控制驱动器构成，采用闭环反馈控制方法，可精密驱动显微物镜上下移动。
信号处理系统信号处理系统是该仪器的核心部分，由计算机和数字信号协处理器构成。
利用计算机采集一系列原始图像数据。然后使用专用的数字信号协处理器完成数据解析作业。应用软件应用软件主要由操作控制部分，结果显示部分以及后处理部分组成。主要用于操作控制表面形状测量仪器。
同时，以三维立体，二维平面以及断面分布曲线方式显示实时测量结果。并可对测量结果作进一步的修正处理。
